8英寸AlN氮化鋁陶瓷晶圓托盤

8英寸氮化鋁陶瓷托盤

氮化鋁陶瓷托盤是晶圓制造過程中一個非常重要的陶瓷配件，東莞鈞杰陶瓷擁有先進(jìn)的氮化鋁陶瓷材料生產(chǎn)線，同時還具備高精密的加工能力。我們目前可生產(chǎn)6-12寸不同規(guī)格的氮化鋁陶瓷晶圓托盤，還可以生產(chǎn)直徑達(dá)320mm，厚度超過26mm的大型氮化鋁陶瓷板。這種大尺寸AlN陶瓷圓片可以用來生產(chǎn)高熱導(dǎo)率的氮化鋁加熱片（heater）。截至2021年10月份，鈞杰陶瓷已經(jīng)為國內(nèi)的十余家半導(dǎo)體制造企業(yè)供應(yīng)這類品質(zhì)出眾的氮化鋁陶瓷制品。以下展示的是由我公司生產(chǎn)的晶圓托盤圖片。

氮化鋁加熱器功能
熱導(dǎo)率與鋁相當(dāng)，可實現(xiàn)快速且均勻的熱響應(yīng)
. 瓦特密度：高達(dá) 2000 W/in ² (310 W/cm ² )
. 氮化鋁熱導(dǎo)率：170 W/mK
. 快速升溫速率：0-400°C（32 至 752°F），不到 2 秒
. 大氣和惰性氣體環(huán)境應(yīng)用
. 復(fù)雜的 3 維幾何
. 厚度：0.05 英寸至 0.200 英寸（1.27 毫米至 5.08 毫米）
. 尺寸：最大 10.25 英寸 2 (66.13 cm² )
. 封裝鎢 (W) RTD 傳感器
. 表面鎢 (W) 或鎳 (Ni) 金屬化

多層陶瓷加熱器設(shè)計與制造
多層 AlN 加熱器設(shè)計和制造工藝擴(kuò)展了 AlN 熱解決方案的能力和功能。從生坯狀態(tài)（功率）陶瓷材料開始，每一層都形成并壓制到所需的尺寸。金屬加熱器層和傳感器層夾在陶瓷層之間并加壓。然后將整個組件在高溫爐中燒結(jié)以形成整體組件。層可以包括加熱器電路、RTD 傳感器元件、接地層、射頻 (RF) 網(wǎng)格、金屬和陶瓷流道的組合。
AlN 加熱器用于需要低熱膨脹和/或高熱導(dǎo)率的應(yīng)用。當(dāng)與內(nèi)部化學(xué)鍵合金屬導(dǎo)體結(jié)合使用時，這些組件可用于高功率電子設(shè)備和快速熱循環(huán)過程。通過設(shè)計具有用于安裝和散熱的金屬結(jié)構(gòu)的解決方案，可以實現(xiàn)非常高的功率密度。